一、微电子学专业实验—实验项目
实验一、 四探针法测电阻率
实验二、 半导体霍尔效应
实验三、 用图示仪测量双极型晶体管直流参数
实验四、 晶体管开关时间的测量
实验五、 场效应晶体管参数测量
实验六、 光电导衰减法测量单晶硅非平衡少数载流子寿命
实验七、 半导体材料层错、位错的显示
实验八、 P-N结的显示与结深的测量
实验九、 用椭偏仪测量薄膜厚度
实验十、 晶体管特征频率的测量
实验十一、晶体管瞬态热阻的测量
实验十二、双极性运算放大器参数的测试
实验十三、版图电路分析
实验十四、几种数字门电路的计算机模拟与仿真
实验十五、运算放大电路应用电路的仿真与测试
实验十六、数字电路版图设计
实验十七、MOS结构高频C-V特性测试
实验十八、PMOS运算放大器设计与模拟
实验十九、微电子芯片、分立器件解剖及图形观察
实验二十、稳压电源及应用电路的计算机模拟与仿真
实验二十一、晶闸管伏安特性及触发特性测量
实验二十二、晶闸管通态峰值压降的测量
二、新型材料与器件
利用微电子仿真实验室的Silvaco软件,进行二极管、三极管、晶闸管等常用电子元气件以及太阳能电池、发光二极管等新型材料和器件的模拟仿真,分析各种工艺参数,如器件结构、掺杂浓度和工作电压等参数对器件性能的影响。
根据学生的兴趣,在模拟仿真的基础上,可选择以下任意的实验之一:
1、染料敏化太阳能电池
2、异质结太阳能电池
3、气敏传感器
4、紫外探测器
三、半导体工艺生产实习
本课程是微电子和集成电路设计专业的初步操作训练,通过在生产工艺线进行器件实际工艺制作,让学生能够熟练各种半导体工艺设备的操作,掌握半导体器件制备主要工艺的基本知识和操作技能,为专业技能形成奠定基础。
具体工艺如下:
1、硅片清洗
2、热氧化技术
3、光刻技术
4、高温扩散技术
5、蒸发金属铝
四、集成电路版图
1、Tanner环境熟悉及工具练习
2、反相器版图设计与验证
3、两输入与非门、异或门版图设计与验证
4、Virtuoso版图设计工具熟悉
5、利用Virtuoso设计INV
6、利用Virtuoso设计NAND2和TG
7、利用Virtuoso设计MUX2
8、利用Virtuoso-XL设计SRAM单元
五、微电子综合测试
《微电子综合测试》课程是针对实践教学的需要,在微电子专业本科生毕业前夕对所开设的实践教学内容进行一次综合性检测。在考核的过程中,对每位学生进行随机的抽查,具体内容主要有:
1、Silvaco 软件的使用方法、编码的意义和常用元器件的模拟仿真
2、《微电子学基础实验》的全部内容
3、《新型材料与器件》实验内容的工艺流程和要点