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实验室简介


“微电子学实验室”简介

微电子学实验室成立于200512月,隶属我校电子工程学院下设的重点专业实验室,具有鲜明专业特色。实验室占地面积约700平方米,主要仪器设备500余台(套),固定资产近800万元,下设集成电路工艺实验室、集成电路工艺仿真实验、微电子学基础实验室。
主要服务于微电子学、集成电路设计与集成系统等相关专业的在校本科生、研究生的实践教学任务,同时兼顾在职博士和教师的科研。为学生提供集成电路生产实习、集成电路工艺仿真、半导体材料、集成电路设计与仿真、半导体器件和集成电路性能参数测试等六类实验。为我院学生和教师在集成电路设计、半导体物理、半导体器件、集成电路工艺及材料等领域提供良好的实验环境和技术开发平台。
    2008
9月成立“西安邮电学院-美国赛灵思  FPGA联合实验室”,20094月成立“西安邮电学院 北京微电子技术研究所、北京时代民芯科技有限公司半导体工艺联合实验室”。

 

1) 微电子学基础实验室

     200512月成立,拥有各类半导体器件及集成电路性能参数测量仪器150多台套,主要包括:四探针测试仪、霍尔效应测试仪、晶体管图示仪、集成运算放大器测试仪、椭圆偏振仪、晶体管动态参数测试仪、金相显微镜、Keithley 4200-SCS半导体特性分析系统等专用测试设备。承担了微电子学专业本科生和研究生的《微电子学专业实验》、本科生的毕业设计,开放实验,电子竞赛。能开出:半导体材料及工艺参数测试分析、集成电路性能参数及半导体器件和集成电路应用等三类,共16个微电子学专业实验。

2)集成电路工艺实验室

     200610月利用航天部772所闲置的一条集成电路前工艺生产线建立该实验室。主要设备包括:多功能磁增强反应离子刻蚀机、双管扩散炉、LPCVD、溅射台、光刻机、快速热退火设备、多头探针中测台等大型贵重设备14台(套),高纯水制备系统1套。2007年利用中央与地方共建实验室建设项目又为实验室投入经费100多万元,用于实验室超净环境改造和工艺生产线的恢复。实验室的超净面积为150平方米,洁净度达万级。承担了微电子学、集成电路设计与集成系统专业本科生和研究生的半导体工艺生产实习、本科生的半导体材料类开放性实验以及毕业设计等,开发出了一系列集成电路工艺的综合性实验。同时为教师进行新型材料与器件、太阳能电池、传感器等微电子学领域科研项目提供实验平台。

3)集成电路工艺仿真实验室

     2007年利用中省共建实验室建设项目成立了该实验室,现有中高档工作站12台,PC40台,开发板40套,配备高端示波器、逻辑分析仪及相应的集成电路设计和工艺仿真软件SivacoCadenceQuartusISE等。主要承担微电子学、集成电路设计与集成系统专业的EDA类实验教学任务,包括工艺仿真、版图设计、FPGA设计、VerilogHDL设计及生产实习等实践教学任务。